水素還元炉
本装置は、炉心管内を真空排気後、水素ガス雰囲気内で加熱処理する為の装置として設計、製作されたものです。
特徴
- 炉心管内が真空排気出来ます。
- ヒーター制御を４ゾーンにて行っていますので、炉内均熱が向上しています。
- 水素の排気は、ヒーターにより燃焼させ水素を大気中に放出しない構造になっております。
仕様
| 本体サイズ | 1075W×800D×713H（架台寸法） |
|---|---|
| 炉心管サイズ | φ318.5×810L |
| 有効寸法（均熱範囲） | 250W×350L×50H |
| 内面仕上げ | バフ仕上げ（#400）－炉心管 |
| 真空度 | 6.65Pa以下 |
| 最高温度 | 各ゾーンの温調にて550℃（常用 350～500℃） |
| 均熱温度 | 均熱範囲で常用温度±5℃ 水素フロー 2.5L／min 常用温度に達してから保持１時間後 |
| ヒーター方式 | 外熱式 セラミックファイバーヒーター |
| 電気容量 | AC200V φ18.0kW 1ゾーン当り 2kW |
| 制御方式 | PID制御（4ゾーン） 各ゾーンに２ケボリューム |
| 昇温速度 | 室温～500℃／1h（温調にて） |