水素還元炉

本装置は、炉心管内を真空排気後、水素ガス雰囲気内で加熱処理する為の装置として設計、製作されたものです。

特徴

  • 炉心管内が真空排気出来ます。
  • ヒーター制御を4ゾーンにて行っていますので、炉内均熱が向上しています。
  • 水素の排気は、ヒーターにより燃焼させ水素を大気中に放出しない構造になっております。

仕様

本体サイズ1075W×800D×713H(架台寸法)
炉心管サイズφ318.5×810L
有効寸法(均熱範囲)250W×350L×50H
内面仕上げバフ仕上げ(#400)-炉心管
真空度6.65Pa以下
最高温度各ゾーンの温調にて550℃(常用 350~500℃)
均熱温度均熱範囲で常用温度±5℃
水素フロー 2.5L/min
常用温度に達してから保持1時間後
ヒーター方式外熱式 セラミックファイバーヒーター
電気容量AC200V φ18.0kW
1ゾーン当り 2kW
制御方式PID制御(4ゾーン) 各ゾーンに2ケボリューム
昇温速度室温~500℃/1h(温調にて)