真空電気炉
本炉は、金属・セラミック材料の焼結及び焼鈍等に使用される、高真空及び高純度Ar雰囲気の高温電気炉です。チャンバ一内にタングステンメッシュヒータ－及びリフレクター・冷却層を設けて、ターボ分子ポンプ・油回転真空ポンプ・操作盤等の構成により、昇温、冷却等の自動運転が出来ます。
特徴
パスボックスに装着されているシリンダーとゲートバルブを作動させる事により、パスボックスを介して品物の出し入れが可能となっております。したがって炉内雰囲気を壊すことなく作業ができるので、高真空への到達時間が短縮されます。
仕様
| 炉真空度 | 1.33×10-4Pa（無負荷時） |
|---|---|
| 最高温度 | 1700℃ |
| 昇温速度 | 常温から1700℃まで100～120分以内 |
| 材質 | ヒーター タングステンメッシュヒーター 本体SUS-304 |
| 炉内有効寸法 | 100mmφ×150mmH |
| 冷却水 | 20リットル／min. at 25℃ 2kg/cm2 |
| 冷却時間 | 100℃まで120分以内 |
ユーティリティ
| ヒーター | 20V×30kW（ダウントランス使用） |
|---|---|
| ターボ分子ポンプ | AC200V×0.48kVA |
| 粗引用真空ポンプ | AC200V×0.75kW |