株式会社 美和製作所 miwa, グローブボックス,ガス循環精製装置,電気炉,乾燥炉,高周波誘導加熱,クリーンオーブン,GLOVE,PURIFICATION,CLENOVEN,

vacuum pressure electric ovens | 真空電気炉

Outline | 概要

  本炉は、金属・セラミック材料の焼結及び焼鈍等に使用される、高真空及び高純度Ar雰囲気の高温電気炉です。チャンバ一内にタングステンメッシュヒータ-及びリフレクター・冷却層を設けて、ターボ分子ポンプ・油回転真空ポンプ・操作盤等の構成により、昇温、冷却等の自動運転が出来ます。
 

Feature | 特徴

  パスボックスに装着されているシリンダーとゲートバルブを作動させる事により、パスボックスを介して品物の出し入れが可能となっております。したがって炉内雰囲気を壊すことなく作業ができるので、高真空への到達時間が短縮されます。  

Feature | 特徴

炉真空度:1.33×10-4pa(無負荷時)
 
温 度:Max1700℃  
昇温速度:常温から1700℃まで100~120分以内  
材 質:ヒーター タングステンメッシュヒーター 本体SUS-304  
炉内有効寸法:100mmφ×150mmH  
冷却水:20リットル/min. at 25℃ 2kg/cm2  
冷却時間:100℃まで120分以内  

Feature | 特徴

  ヒ一ター:20Vx30KW(ダウントランス使用)
 
  ターボ分子ポンプ:AC200VxO.48kVA  
 

粗引用真空ポンプ:AC200VxO.75kw