株式会社 美和製作所 Miwa, Since 1975, Made in Japan, Atmosphere Technology Company

company profile | モノづくりへの道

品質管理の向上を目指して

     
  海外よりの仕入れ部品についても、現地の視察を行い、日本人のサイズや仕様だけで なく、より使いやすいものの開発や検査方法についても意見交換を行いました。
 
 
品質管理の向上を目指して
 
     

セル封止方法評価ユニット

     
  3D-CADモデルでの気流解析等を行うシステムです。
グローブボックス内の気流をシュミレーションします。
高速度カメラとの組み合わせでダブルチェックも条件により可能になります。
最近では、高気密低濃度CO2室などの設計で気流解析以外にも室内圧力や温度等での シュミレーションでも利用いたしました。
 
 
セル封止方法評価ユニット
 
     

セル封止方法評価ユニット

     
  有機EL量産封止テストラインの技術を応用したシステムになります。小型ながらオプションユニットをフランジ接続することにより機能を拡張することが可能。最適な条件を模索するために、封止ユニット部分に特化したシステムです。セル基板の固定方法を改良することで、より短時間、より幅広い圧力環境下での封止が可能になりました。
 
 
セル封止方法評価ユニット
 
     

加熱脱着ガスクロマトグラフ質量分析装置

     
  加熱脱着ユニットを取り付けることで、吸着剤等に付着した不純物または、チェンバー内の不純物の計測を目的とした装置。
 
 
加熱脱着ガスクロマトグラフ質量分析装置
 
     

高速記録カメラ付き気流解析装置

     
  シュミレーション等では不明な密閉系での気流解析について、装置内部の気流を可視化しそれを高速カメラに記録する装置。
 
 
高速記録カメラ付き気流解析装置
 
     

大型真空乾燥炉

     
  グローブボックス及び部品の脱ガスのための真空乾燥炉を自社にて製作しました。
この設備の導入により、グローブボックスをそのまま導入し真空乾燥を行い、ステンレス材からのガス出し・不導体膜形成が可能になります。
今後、より効率のよい条件だしを行い装置の品質・性能向上をめざします。
 
装全長 320㎜を超えるチャンバーさえも脱ガスが可能です。  
真空計、内部温度モニターを搭載し装置の大きさによる最適化を測ります。  
装置内部にいたっても十分に研磨された装置です。  
ヒーターも特殊加工を行いヒーターからの汚染が発生しない機構を採用しております。  
 
大型真空乾燥炉
 
     

クリーンルーム

     
  グローブボックス組立をクリーンルーム内で行うことによりパーティクルを最小限に軽減し品質・性能向上をめざします。 クリーンルーム  
     

超純水製造装置

     
  超純水製造装置の水を使用しクリーン環境用途での装置・部品洗浄が可能です。
比抵抗 17.5㏁・㎝以上
微粒子 30個/㎖以下
生菌 00.5個/㎖以下
 
     

APIMS

     
  APIMS(Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer)にてppbレベルでのガス分析が可能になり、従来での酸素計・露点計では測定不可能であったppb領域を早く・正確に検出する事が可能になりました。 APIMS  
     

RGA-QMS

     
  真空状態での残留ガス分析・プロセスガスモニタ・昇温脱離ガス分析等、幅広い分析が可能です。
 
  RGA-QMS1 RGA-QMS2  
     

有機EL量産封止装置

     
  有機EL量産封止装置(Encapsulaion System)にてFPD・有機TFT・有機太陽電池等でのガラス封止技術確立を目的とし単なる装置メーカーではなくプロセスを含めたトータルメーカーとして技術を確立していきます。
 
基板材質 ガラス  
基板サイズ 370×470mm  
貼り合わせ精度 50μm以下  
 
有機EL1
 
封止基板分析データー  
 
有機EL2
 
 
・基板内線幅計測
・基板面内平坦化計測
 
 
有機EL3
 
     

極高真空計

     
  10-2~10-11Paの圧力範囲での定量性の高い圧力測定が可能です。
 
 
極真空計
 
     

超音波洗浄装置

     
  3つの周波数(28㎑、45㎑、100㎑)を高速で切り替え、定在波の移動で、ムラがなく部材 へ強力な洗浄が行える事が可能です。
 
 
超音波洗浄装置